• 花粉より小さな穴を開ける技術(微細穴加工)
  • 花粉より小さな穴を開ける技術(微細穴加工)
素材
マセライトMMHSP(黒崎播磨製)
サイズ
0.1X10X10
精度
Φ30μm貫通 25カ所
業界
半導体

こちらは、マセライト(ワーク厚0.2mm)に微細穴加工を施した事例です。超精密切削加工で平均Φ26.2μmの穴を開けることに成功しました。一般的にスギ花粉の粒径が30~40μmと言われていますので、それよりも小さいことになります。ピッチ間誤差は1μmを切り、なんと平均0.7μm。

写真は被削材の裏面を撮影したもので、一般的に裏面は欠けやバリなどが目立つことが少なくありませんが、ご覧の通りまったく見受けられません。

また、加工結果の測定に用いたのが三鷹光器の超精密非接触三次元測定機NH-3SP。NH-3SPは”1nm”単位の超精密非接触測定が可能なため、マイクロレンズアレイのピッチ測定や非破壊測定において第一級の三次元測定機です。

>>微細穴加工における重要なポイント